1. Accendi il computer e il monitor
Ingresso: nome utente: zygo
Password: nessuno
Accesso al sistema operativo
2. Accendi la potenza dell'host dell'interferometro e riscalda l'interferometro per 15 ~ 20 minuti per far funzionare in modo stabile.
3. Fare doppio clic sull'icona MetroPro sul desktop del computer per entrare nel software di misurazione MetroPro.
Accendi l'interruttore di alimentazione e l'indicatore luminoso si accenderà.
1. Pulsante mouse sinistro fare clic sull'icona dell'applicazione di misurazione corrispondente per aprire l'applicazione di test.
Ad esempio: apri GPI.app
2. Costruisci il percorso ottico di prova (incluso lo specchio standard e il campione), regola le frange di interferenza e fai riferimento al metodo di misurazione specifico nella parte posteriore.
Impostare il percorso ottico di prova (incluso specchio standard e campione) e regolare le frange di interferenza. Impostare i parametri di misurazione necessari nel software MetroPro, fare riferimento al manuale del software MetroPro.
3. Fare clic sul pulsante di misurazione nel software o premere il tasto F1 sulla tastiera per completare la misurazione e visualizzare i risultati.
4. Salva il rapporto di prova. Fare clic sul simbolo zygo con il pulsante del mouse sinistro per stampare o salvare l'immagine della finestra.
5. Fare clic sul pulsante dati di salvataggio nel software per salvare i dati di test.
1. Chiudi il software MetroPro
Fare clic sul pulsante X sull'angolo superiore destro di MetroPro, una scatola di dialogo pop-up, fare clic su sì per chiudere il software MetroPro.
2. Spegnere l'unità principale dell'interferometro
Spegnere l'interruttore di alimentazione dell'unità principale e la spia si spegne.
3. Spegnere il computer e il monitor.
Installa l'elemento di trasmissione
Avvertimento!
Non toccare l'elemento trasmissivo con le mani durante i passaggi successivi. Le impronte digitali possono danneggiare permanentemente l'ottica
Rivestimento e la superficie dell'ottica.
1. Rimuovi l'elemento trasmissivo dalla sua custodia protettiva afferrando il bordo metallico dell'elemento.
2. Allineare le due linguette metalliche sul bordo dell'elemento trasmissivo con le due fessure corrispondenti sulla staffa di regolazione dell'unità principale.
Avvertimento!
Quando il sistema viene installato in una configurazione verticale, non lasciare andare l'elemento trasmissivo fino a quando non è stato bloccato in posizione seguendo i passaggi qui sotto.
3. Scatta delicatamente l'elemento trasmissivo nella staffa di regolazione del mainframe, mantenendo i bordi metallici dell'elemento del gruppo in posizione con la mano. Girare la manopola di bloccaggio nera
Girare la manopola di bloccaggio nera in senso orario, in modo da fissare l'unità alla staffa di regolazione.
Nota: quando è il momento di rimuovere l'unità dalla staffa di regolazione, tenere l'unità a mano dal bordo metallico dell'unità mentre gira la manopola di bloccaggio in una direzione in senso antiorario.
Quando è il momento di rimuovere il modulo dalla staffa di regolazione, tenere il modulo a mano dal telaio metallico del modulo e allentare le viti di fissaggio in senso antiorario.
Prima di eseguire le misurazioni con l'interferometro, è necessario allineare l'elemento trasmissivo con l'interferometro e quindi allineare il campione di misurazione con l'elemento trasmissivo.
Quindi allineare il campione di misurazione con l'elemento trasmissivo. Come allineare l'elemento trasmissivo è illustrato di seguito. La calibrazione del campione di misurazione viene fornita in dettaglio in "misurazione della qualità della superficie".
Misurazione della qualità della superficie e misurazione della qualità del fronte d'onda trasmissione.
1. Conferma che l'interruttore della barra luminosa sia in posizione ON. (Assicurati che l'interruttore della barra luminosa sia in posizione ON.)
2. Premere il pulsante ALIGN/VIEW sul telecomando. L'obiettivo calibrato crosshair e uno o più punti luminosi saranno visibili sul monitor.
Sul monitor. Il punto più luminoso rappresenta il riflesso della luce dalla superficie più esterna dell'elemento trasmissivo.
Il campione da misurare è calibrato con l'elemento trasmissivo. Dopo che il campione è stato calibrato, la misurazione è semplicemente una necessità di premere un tasto di misurazione nel software MetroPro. Se l'interferometro viene posizionato verticalmente o orizzontalmente, è generale accettato che la cavità di misurazione (o la distanza dello specchio da campione a standard) dovrebbe essere realizzata il più grande possibile.
Distanza dal campione allo specchio standard) il più corto possibile. Questo riduce al minimo la distorsione del wavefront misurato dal flusso d'aria.
Montare lo specchio di riferimento piatto (TF) della trasmissione: posizionare i due perni metallici sull'obiettivo nelle diapositive sul telaio di regolazione dell'interferometro.
1. Slide the two metal pIns sull'obiettivo nelle fessure sulla staffa di regolazione dell'interferometro, tenere il telaio in metallo dell'obiettivo e ruotare l'obiettivo in senso orario, quindi stringere la manopola di bloccaggio sul lato.
Quindi stringere la manopola di bloccaggio sul lato.
2. Allineare l'obiettivo standard: premere il pulsante di allineamento/visualizzazione del telecomando per cambiare lo schermo del display per allineare lo stato e l'immagine del filamento di capelli incrociati appare nell'aereo. Regola le due manopole sulla staffa di regolazione dell'unità principale dell'interferometro fino al punto di luce più luminoso sullo schermo è al centro del filamento incrociato. 3.
3. Posiziona il campione da misurare sul telaio di regolazione della misurazione: regola la manopola di inclinazione del telaio di regolazione fino al punto luminoso della parte misurato sullo schermo è anche al centro dell'attaccatura dei capelli incrociata, coulisse con il punto di luce riflesso dell'obiettivo.
4. Premere di nuovo il pulsante di allineamento/visualizzazione del telecomando per cambiare lo schermo del display in "visualizza" e le frange di interferenza devono essere incluse sullo schermo. Premere il pulsante dello ZOOM per ingrandire e ingrandire in modo che l'immagine della superficie che si desidera misurare riempie lo schermo il più possibile. 5.
5. Posiziona un pezzo di carta o un altro pennarello il più vicino possibile alla parte da misurare, questo fornisce un bordo diverso per la messa a fuoco. Premere il pulsante di messa a fuoco sul telecomando per mettere a fuoco, rendere l'immagine edge to edge e focalizzarsi per rendere edge to edge.
6. Fine tune la manopola di regolazione dell'inclinazione del rack di regolazione del campione per eliminare le frange (in modo che le frange di interferenza siano ridotte al minimo).
7. Premere il tasto di misurazione sul tasto MetroPro o F1 sulla tastiera per eseguire la misurazione.
1. Non toccare l'unità principale o la piattaforma antivibrante durante la misurazione.
2. Al fine di ridurre al minimo il rischio di scosse elettriche, lo strumento deve essere ben collegato elettricamente attraverso l'uscita dell'alimentatore.
3, nel manuale dell'interferometro per leggere le istruzioni di sicurezza laser.
4. Non spostare l'unità principale. Se è necessario muoversi, si prega di utilizzare le due maniglie speciali progettate nella parte superiore dello strumento per
Se è necessario muoversi, si prega di utilizzare le due maniglie speciali progettate sulla parte superiore dello strumento per spostarlo con attenzione, E non toccare direttamente la ceramica piezoelettrica con le mani per spostarlo con la forza.
La ceramica piezoelettrica è una struttura ad alta precisione, facile da danneggiare dalla forza, quindi evita la forza esterna su di essa in qualsiasi momento. Come mostrato nella figura:
Manutenzione dell'host
L'unità principale è quasi esente da manutenzione, ma è molto importante far funzionare lo strumento in un ambiente abbastanza pulito.
In ogni caso, è molto importante far funzionare lo strumento in un ambiente abbastanza pulito. Se hai bisogno di pulire l'alloggiamento dell'unità principale, segui i passaggi qui sotto.
1. Utilizzo di un detergente per mobili di pH moderato, pulisci le impronte digitali e la polvere dai lati e dal pannello frontale dell'unità principale con un panno morbido umidificato con una piccola quantità di detergente.
Pannello, come impronte digitali e polvere.
2. Usa un panno asciutto per pulire la polvere dai componenti. Non utilizzare detergenti o spray vicino all'ottica.
L'obiettivo è un'ottica rivestita e gli spray per la pulizia possono danneggiare la superficie. Per la sezione sulla pulizia del sistema di lenti, vedi
Sezione "pulizia dell'ottica" nel capitolo successivo.
Fare riferimento alla documenti del produttore per la manutenzione dei componenti, inclusi computer, monitor a colori, mouse, tastiera e stampante (se installato).
I componenti da riparare includono computer, monitor a colori, mouse, tastiera e stampante (se installati).
Se hai problemi e non sei in grado di individuare il problema, contatta Zygo.
Quando l'interferometro non viene utilizzato per un lungo periodo di tempo dopo aver completato una misurazione, rimuovere con cura l'obiettivo e altre ottiche e conservarlo in una custodia per lenti speciale.
Inseriscili nella custodia speciale per lenti.
La pulizia di qualsiasi ottica di precisione può danneggiare la superficie. Tutte le superfici delle lenti pulibili sono rivestite.
Tutte le superfici delle lenti pulibili sono rivestite. La pulizia non necessaria e non corretta può facilmente danneggiare il rivestimento. Tenere le nostre ottica in modo adeguato e tenere fuori dalla strada quando non sono in uso.
Componenti corretto, restituiscili alle loro custodie in plastica quando non sono in uso e mantieni un ambiente pulito per ridurre al minimo il numero di cicli di pulizia.
Il numero di detergenti dovrebbe essere ridotto al minimo.
Non tenti di pulire l'ottica all'interno del principaleL'unità in quanto ciò incierà sulle prestazioni del sistema. Contatta Zygo se necessario.
Contatta Zygo se necessario.
Guanti da laboratorio in polietilene
Indossare guanti per prevenire la contaminazione delle superfici del dispositivo e proteggere la pelle dal contatto con sostanze chimiche nocive e irritanti.
Sostanze.
Gas compresso con ugello
Il gas compresso con un ugello viene utilizzato per soffiare via polvere e sporco dalla superficie dell'ottica.
Carta a specchio
Utilizzato per pulire la superficie dell'ottica, se necessario. La carta a specchio dovrebbe essere specializzata per pulire l'ottica di precisione.
Tamponi di cotone
Utilizzato per pulire superfici difficili da raggiungere, i tamponi di cotone devono essere realizzati in legno e carta, cotone e altri materiali. Le bacchette di plastica si sciolgono in acetone
Le aste di plastica si sciolgono in acetone.
Solventi
Utilizzare alcol isopropilico di grado spettrale e metanolo per pulire i contaminanti conformi alle superfici ottiche. Utilizzare una soluzione di sapone neutra al 1% o un detergente ottico.
Soluzione di sapone a concentrazione o detergente ottico per pulire i contaminanti a base di olio.
Avvertimento!
La cura deve essere presa quando si utilizza etanolo isopropilico e metanolo; Non riutilizzare le salviette detergenti;
Prima di pulire l'ottica, rimuovere gioielli come anelli da dita e polsi, lavarsi accuratamente le mani per rimuovere gli oli della pelle e indossare i guanti.
Polvere o contaminazione fine
1. Soffiare qualsiasi sfuso, piccole punte di polvere o contaminazione con l'ugello.
2. Se la polvere è ancora presente, avvolgere due fogli di carta a specchio intorno a un tampone di legno o piegare un foglio di carta a specchio in modo che sia solo più largo della parte da pulire.
3. Posiziona una goccia di etanolo o metanolo sulla carta.
4. Pulisci l'obiettivo con esso una volta in una direzione. Se è necessario pulire di più, utilizzare un nuovo tampone di legno e una carta a specchio. Impronte digitali, segni di olio e acqua nota: questa condizione deve essere pulita immediatamente dalla superficie. Gli acidi sulla pelle possono danneggiare la superficie dell'obiettivo.
5. Soffiare qualsiasi piccola polvere o sporco sciolto con un ugello spray.
6. Se lo sporco è ancora presente, avvolgere due fogli di carta a specchio intorno a un bastone di legno o piegare un foglio di carta a specchio in modo che sia solo più largo della parte da pulire.
7. Applica una goccia di soluzione di sapone al 1% sulla carta.
8. Pulisci l'obiettivo una volta in una direzione. Se è necessario più pulire, utilizzare un nuovo tampone e carta.
9. Ripeti i passaggi da 2 a 4 utilizzando la carta bagnata con acqua distillata. Per pulire qualsiasi residuo di sapone.
10. Umidificare la carta con metanolo o etanolo e ripetere i passaggi da 2 a 4.
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