Applicazione di componenti ottici nelle macchine per litografia

Nelle macchine per litografia, il sistema ottico è responsabile per la messa a fuoco e la proiezione del fascio luminoso prodotto dalla sorgente luminosa sul wafer di silicio per ottenere l'esposizione dei modelli di circuito. La progettazione e l'ottimizzazione dei componenti ottici nei sistemi di litografia sono vitali per migliorare le prestazioni delle macchine per litografia.

Lente di proiezione

L'obiettivo di proiezione in una macchina per litografia è in genere composto da una serie di lenti, incluse lenti convesse, lenti concave e prismi. La sua funzione è di mettere a fuoco e proiettare il fascio luminoso prodotto dalla sorgente luminosa. In una macchina per litografia, l'obiettivo di proiezione riduce il modello del circuito sulla maschera a una scala precisa e poi lo concentra sul wafer rivestito di fotoresistenza.

Sistema di allineamento ottico

Il sistema di allineamento ottico comeCubo di allineamento otticoIn una macchina per litografia viene utilizzata principalmente per garantire la precisione di allineamento tra la fotomaschera e il wafer di silicio. Durante il processo di litografia, gli errori nelle apparecchiature e nei materiali possono generare regolazioni posizionative tra la fotomaschera e il wafer di silicio, che portano a distorsione o inprecisione nelle forme del modello. Il sistema di allineamento utilizza componenti ottici precisi come specchi di riferimento, lenti standard e codificatori ottici per misurare e regolare, garantire l'allineamento e l'imaging ad alta precisione durante il processo di litografia.

Lenti ottiche

Specchi ottici: gli specchi vengono utilizzati nelle macchine per litografia per cambiare la direzione del percorso luminoso, guidare la luce nella posizione corretta. La precisione e la stabilità della superficie diSpecchi otticiIncidere in modo significativo le prestazioni della macchina per litografia.

Divisori per travi: divisori per travi dal leaderFabbrica di spaccalegnaSono componenti ottici che separano un singolo fascio luminoso in più travi. Sono utilizzati nelle macchine per litografia per generare più travi parallele, rendendo possibile l'esposizione simultanea di più chip.

Le grate: le grate sono componenti ottici che separano la luce in più sub-travi e controllano la loro fase e ampiezza. Sono utilizzati nelle macchine per litografia per creare modelli e strutture complessi.

Filtri: filtri prodotti dalAzienda di filtri otticiVengono utilizzati per filtrare le lunghezze d'onda della luce non trattate, migliorare la precisione e la qualità della litografia.